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晶圓缺陷檢測
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UltraINSP晶圓表面缺陷檢測系統(tǒng)是表面缺陷檢測的蕞完善的國產化替代產品，系統(tǒng)包括四個模塊可以檢測所有晶圓表面并同步采集數(shù)據：晶圓正面、背面、邊緣缺陷檢測模塊；輪廓、量測和檢查模塊；
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更新時間：2025-09-04
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