橢偏儀/橢圓偏振儀是一種用于探測薄膜厚度、光學常數(shù)以及材料微結(jié)構(gòu)的光學測量儀器。現(xiàn)在已被廣泛應(yīng)用于材料、物理、化學、生物、醫(yī)藥等領(lǐng)域的研究、開發(fā)和制造過程中。
基本原理：
橢偏儀的原理主要依賴于光的偏振現(xiàn)象。當光線通過某些物質(zhì)時，其偏振狀態(tài)會發(fā)生變化。橢偏儀利用這一特性，通過精確控制入射光的偏振態(tài)，并測量經(jīng)過樣品后光的偏振態(tài)變化，進而分析樣品的性質(zhì)。
橢偏法測量具有如下特點：
1.能測量很薄的膜（1nm），且精度很高，比干涉法高1-2個數(shù)量級。
2.是一種無損測量，不必特別制備樣品，也不損壞樣品，比其它精密方法：如稱重法、定量化學分析法簡便。
3.可同時測量膜的厚度、折射率以及吸收系數(shù)。因此可以作為分析工具使用。
4.對一些表面結(jié)構(gòu)、表面過程和表面反應(yīng)相當敏感。是研究表面物理的一種方法。
